Оборудование для разделения воздуха
В связи с быстрым развитием мировой полупроводниковой промышленности спрос на высокочистый азот продолжает расти. В процессе упаковки полупроводников азот является не только ключевым защитным газом, но и важной гарантией стабильной работы чипа и продления срока его службы. Промышленные генераторы азота, как эффективное и стабильное оборудование для подачи азота, широко используются в процессах упаковки полупроводников. Они извлекают высокочистый азот (обычно выше 99,999%) из воздуха с помощью мембранной сепарации или технологии адсорбции с изменением давления (PSA), эффективно избегая финансовых затрат и угроз безопасности, связанных с традиционной транспортировкой и хранением жидкого азота.
В последние годы появление новых функциональных материалов, таких как графен, перовскит, гибкие электронные материалы и высокоэффективные композитные материалы, предъявляет беспрецедентные требования к чистоте и стандартам чистоты газа в производственной среде. Эти материалы очень восприимчивы к воздействию кислорода, влаги и следовых примесей в процессе синтеза, осаждения и отжига, что приводит к структурным дефектам или ухудшению характеристик. Промышленные генераторы азота с настраиваемыми возможностями подачи могут обеспечивать азот высокой чистоты для удовлетворения производственных потребностей различных материалов.
Например, в химическом осаждении из газовой фазы (CVD) азот высокой чистоты не только служит газом-носителем, но и участвует в процессе реакции, напрямую влияя на качество кристаллизации и однородность пленки. Кроме того, для материалов, которые необходимо обрабатывать в вакуумной среде, генераторы азота могут обеспечивать непрерывную подачу газа, предотвращая загрязнение, вызванное проникновением внешнего воздуха, тем самым обеспечивая стабильность и согласованность исследований и разработок новых материалов, а также их массового производства.
Современные промышленные генераторы азота больше не ограничиваются простыми устройствами генерации газа, а интегрируют передовые системы автоматизированного управления и дистанционного мониторинга.