Оборудование для разделения воздуха
В современной области производства электронных компонентов кислород высокой чистоты является незаменимым ключевым элементом для достижения точности процессов. Будь то оксидная обработка полупроводниковых пластин, лазерная сварка металлических материалов или подача реакционных газов в процессах осаждения тонких пленок, требуется стабильная, непрерывная и высокочистая подача кислорода. Традиционные методы подачи кислорода страдают от высокой стоимости, низкой безопасности и больших колебаний чистоты газа. Промышленные генераторы кислорода, благодаря своим преимуществам генерации кислорода на месте, подаче газа в режиме реального времени и контролируемому качеству, стали предпочтительным решением для подачи кислорода для компаний, занимающихся производством электронных компонентов.
На предприятиях по производству электронных компонентов простой оборудования означает потерю производственных мощностей и увеличение затрат. Поэтому ремонтопригодность генератора кислорода напрямую связана с непрерывностью и стабильностью производственной линии.