Оборудование для разделения воздуха
В связи с быстрым развитием мировой индустрии интегральных схем, спрос на газы высокой чистоты в производстве электронных чипов растет с каждым днем. На этом фоне генераторы азота для электронных чипов, как одна из основных систем подачи газа, становятся незаменимым ключевым элементом оборудования в процессе производства полупроводников. Их основная функция заключается в эффективном извлечении и очистке азота из воздуха до чистоты более 99,999% с использованием мембранной сепарации или технологии адсорбции с изменением давления (PSA), что отвечает строгим требованиям к чистой и стабильной азотной среде в производстве электронных чипов. Особенно в критически важных процессах, таких как фотолитография, травление и осаждение, присутствие следовых примесей может привести к дефектам пластин, влияя на выход годных изделий и производительность.
Помимо традиционной полупроводниковой отрасли, исследования, разработки и производство новых материалов также в значительной степени зависят от азота высокой чистоты.