Оборудование для разделения воздуха
В современном производстве полупроводников чистота газовой среды напрямую определяет выход годных чипов и стабильность их работы. Азот высокой чистоты, как один из ключевых технологических газов, широко используется в таких основных процессах, как очистка пластин, химическое осаждение из газовой фазы (CVD), литография и отжиг. Традиционная зависимость от закупаемого извне жидкого азота или баллонов высокого давления уже недостаточна для удовлетворения растущих производственных потребностей, а также создает такие проблемы, как высокая стоимость, нестабильные поставки и значительные транспортные риски. Поэтому все больше полупроводниковых компаний выбирают использование собственных промышленных генераторов азота для обеспечения производства на месте и поставок азота по требованию.
Современные промышленные генераторы азота для полупроводников не только стремятся к высокой чистоте выходного потока, но и делают акцент на интеллектуальном управлении во время работы. Интеграция передовых интеллектуальных систем сигнализации о неисправностях стала отраслевым стандартом.