Оборудование для разделения воздуха
В связи с быстрым развитием мировой полупроводниковой промышленности спрос на высокочистый азот растет с каждым днем. В производстве полупроводников азот, как ключевой технологический газ, широко используется для очистки пластин, химического осаждения из газовой фазы (CVD), физического осаждения из газовой фазы (PVD), фотолитографии и упаковки. Его основные функции включают предотвращение окисления, обеспечение инертной среды, защиту чувствительных материалов и повышение стабильности процесса. Традиционные методы основаны на закупке азота в баллонах высокого давления или жидкого азота, что не только дорого, но и сопряжено с транспортными рисками и перебоями в поставках. Промышленные генераторы азота, используя технологию мембранной сепарации или адсорбции при переменном давлении (PSA), эффективно производят высокочистый азот на месте, обеспечивая непрерывную и стабильную подачу газа, значительно снижая эксплуатационные расходы и повышая безопасность производства.
Современные полупроводниковые компании стремятся к максимальной эффективности и гибкости производства.