Оборудование для разделения воздуха
С быстрым развитием мировой полупроводниковой промышленности спрос на высокочистый азот растет с каждым днем. Промышленные генераторы азота, как ключевое оборудование для подачи газа, стали неотъемлемой частью процесса производства полупроводников. В процессах обработки пластин, фотолитографии, травления, осаждения и других процессах азот используется не только для инертной защиты и предотвращения реакций окисления, но и играет решающую роль в процессах очистки и продувки. Высокочистый азот (обычно требующий чистоты выше 99,999%) может эффективно повысить выход годной продукции, снизить процент дефектов и обеспечить стабильность работы чипа.
Техническое обслуживание традиционного промышленного оборудования часто основывается на регулярных проверках инженерами на месте, что не только дорого, но и приводит к задержкам в реагировании. В современных промышленных генераторах азота широко используются системы удалённого совместного управления и технического обслуживания, использующие технологию Интернета вещей (IoT) для обеспечения мониторинга состояния оборудования в режиме реального времени.
По сравнению с закупкой у посредников или интеграторов, покупка промышленных генераторов азота напрямую у производителей имеет значительные преимущества. С одной стороны, это исключает многоуровневые наценки, значительно снижая затраты на приобретение оборудования; с другой стороны, производители имеют полные системы исследований и разработок, производства, тестирования и послепродажного обслуживания, обеспечивая более длительные гарантийные сроки (обычно 3-5 лет), более быструю поставку запасных частей и более профессиональную техническую поддержку. Особенно в случае внезапных поломок, локальные сервисные бригады могут отреагировать в течение 2 часов и прибыть на место в течение 4 часов, минимизируя потери от простоя производственной линии.
В рамках цели ?двойного выброса углерода? экологичное производство стало стратегическим направлением для полупроводниковой промышленности.